安捷倫渦輪分子泵系統的操作注意事項

更新時間：2020-10-15

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（1）不能在前級泵工作時（前級管道接通）和真空室處于真空狀態時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸汽迅速從前級管路返流到泵的清潔端。

（2）分子泵系統在停機充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。

（3）選擇抽氣系統前級泵的大小時，應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態下。

（4）不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運轉。

（5）分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。

盡量避免頻繁啟停

分子泵在勻速工作時，轉子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。

另外，分子泵在加速時功率較大，內部發熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30 分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內部的溫度過高，加劇軸承磨損。

根據工藝條件選擇適當的冷卻

分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風冷（風扇冷卻）；對于有些負載很大的應用（比如CVD），或者不方便使用風扇的環境（如輻射環境），需要采取水冷。

技術規格
抽速	ISO 100 K/CFF 6”/ISO 160 K/CFF 8”
N2 He H2 Ar	250 L/s 255 L/s 220 L/s 250 L/s
大氣體流速
N2	250 SCCM
壓縮比
N2 He H2 Ar	> 1 × 1011 > 1 × 108 1.5 × 106 > 1 × 1011
N2 大前級耐壓	12 mbar
極限真空（使用推薦的前級泵）	< 1 × 10 -10 mbar (< 1 × 10 -10 Torr)
抽氣口法蘭	ISO 100 K、CFF 6”、ISO 160 K、CFF 8”
前級管道法蘭	KF16 NW（KF25 — 可選）
轉速	60000 rpm（1010 Hz 驅動頻率）
啟動時間	< 3 分鐘（使用軟啟動時更長）
推薦的前級泵	干泵：IDP-3（無氣流）、IDP-7、IDP-10，機械泵：DS102、DS302
運行位置	任意位置
運行環境溫度	+5 °C 至 +35 °C
烘烤溫度	抽氣口法蘭極限溫度 80 °C
潤滑油	良好的潤滑時間
冷卻要求
風冷	自然對流（僅在無氣體負荷的情況下）加壓空氣冷卻（環境溫度 5 - 35 °C）
水冷	小流速：50 L/h (0.22 GPM) 溫度：+15 °C 至 +30 °C 大壓力：5 bar (75 psi)
噪聲聲壓級（全速運行時距離 1 m 處）	41 dB(A)
儲存溫度	-40 °C 至 +70 °C
重量 kg (lbs) TwisTorr 305 FS	ISO 100 K 5.84 kg (12.8) CFF 6’’ 8.16 kg (17.9) ISO 160 K 6.28 kg (13.8) CFF 8’’ 10.43 kg (22.9)
符合的法規：	EN 61010-1 EN 61326-1 EN 1012-2 EN 12100 EN 50581 機械指令 2006/42/EC 電磁兼容性指令 2014/30/EU 指令 2011/65/EU

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